磁控濺射鍍膜技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

等離子體濺射的基本過(guò)程是負(fù)極的靶材在位于其上的等離子體中的載能離子作用下，靶材原子從靶材濺射出來(lái)，然后在襯底上凝聚形成薄膜；在此過(guò)程中靶材表面同時(shí)發(fā)射二次電子，這些電子在保持等離子體穩(wěn)定存在方面具有關(guān)鍵作用。濺射技術(shù)的出現(xiàn)和應(yīng)用已經(jīng)經(jīng)歷了許多階段，起初，只是簡(jiǎn)單的二極、三極放電濺射沉積;經(jīng)過(guò)30多年的發(fā)展，磁控濺射技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成為制備超硬、耐磨、低摩擦系數(shù)、耐蝕、裝飾以及光學(xué)、電學(xué)等功能性薄膜的一種不可替代的方法。脈沖磁控濺射技術(shù)是該領(lǐng)域的另一項(xiàng)重大進(jìn)展。

磁控濺射技術(shù)已經(jīng)在我國(guó)的建材、裝飾、光學(xué)、防腐蝕、工磨具強(qiáng)化等領(lǐng)域得到比較廣泛的應(yīng)用，利用磁控濺射技術(shù)進(jìn)行光電、光熱、磁學(xué)、超導(dǎo)、介質(zhì)、催化等功能薄膜制備是當(dāng)前研究的熱點(diǎn)。但是，關(guān)于非平衡磁控濺射技術(shù)尤其是新型沉積工藝，國(guó)內(nèi)了解、研究的單位還很少。防腐蝕、高硬度薄膜在提高石油機(jī)械的性能、壽命等方面能夠發(fā)揮重要作用，低摩擦系數(shù)、潤(rùn)滑、防泥包、催化、光學(xué)等功能薄膜應(yīng)用于石化行業(yè)時(shí)有望大幅度提高工作效率、產(chǎn)品品質(zhì)以及環(huán)保、安全性等。伴隨新型磁控濺射技術(shù)及工藝的發(fā)展、應(yīng)用，石油、化工行業(yè)對(duì)提高生產(chǎn)效率、環(huán)保、安全性等需求的增加，磁控濺射技術(shù)對(duì)石油、化工領(lǐng)域的重要性將不斷加大。但是，目前我國(guó)石化行業(yè)對(duì)磁控濺射技術(shù)尚缺乏足夠的了解、應(yīng)用，也沒(méi)有從事該方面工作的專門(mén)機(jī)構(gòu)。為此，呼吁相關(guān)方面應(yīng)加強(qiáng)對(duì)磁控濺射技術(shù)的支持。 

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