磁控濺射的數值仿真設計

2022-11-21 14:54:03

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磁控濺射的數值仿真設計

將工程和工藝設計運用計算機模擬，再現濺射沉積過程，并將設計的結果進行顯示和分析以優化工程和工藝設計。

工程設計可以實現參數化設計：利用已有的商業軟件：Pro／E，UG，Ansys等進行二次開發。工藝設計是在自行設計或利用已有的軟件上模擬濺射過程以進行工藝分析和優化，并分析機械結構對工藝的影響。

將設計過程開發成通用的設計軟件，實現機械結構(工程設計的一部分)三維建模及機械綜合性能分析，工藝過程的實時模擬及電磁場、熱場、粒子空間分布等分析，以及將仿真模擬過程的可視化，供優化工藝和機械結構使用。

磁控濺射

能夠與其它軟件之間的進行數據交換。

進一步的發展就是將整個設計過程從部分設計轉移到整體設計，大限度的排除人為因素。開發帶有專家系統、參數化設計、自動控制檢測及遠程操作等功能的智能軟件系統。

鍍膜設備的工程設計、鍍膜工藝的設計及二者的計算機數值仿真這三者之間是相輔相成的：鍍膜設備決定鍍膜工藝過程的實現，鍍膜工藝促進鍍膜設備的升級，而高性能的計算機仿真設計給兩者的設計提供了強有力的支持。

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