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本公司代理普發(fā)全部產(chǎn)品 

一、A100L/A200L是緊湊型干泵

用于潔凈制程的整體式干泵

具有緊湊結(jié)構(gòu)的潔凈制程整體式干泵是專為滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施中的靈活彈性集成要求而開發(fā)的。為了在方便在機(jī)臺內(nèi)直接安裝和快速抽空的設(shè)計要求，用于潔凈制程的該系列緊湊型泵是裝載互鎖、傳輸室以及其他非腐蝕性應(yīng)用的解決方案。

針對高氣流量應(yīng)用的全新解決方案

普發(fā)真空推向市場的用于高氣流量應(yīng)用的全新200m3/h級別產(chǎn)品A200L，再次展示出了其在整體式干泵市場中全球領(lǐng)導(dǎo)地位。憑借著100m3/h 級別產(chǎn)品A100L和200m3/h 級別產(chǎn)品A200L，普發(fā)真空為一切潔凈制程應(yīng)用提供完整的產(chǎn)品種類。

優(yōu)勢

● 高氣流量

● 體積小巧

● 裝配優(yōu)化

● 購置成本低

應(yīng)用

● 裝載互鎖和傳輸室

● 半導(dǎo)體生產(chǎn)

● 光伏

引導(dǎo)行業(yè)的整體式干泵

自從A100L泵問市以來，它改變了半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)施中泵的集成問題?；诟墒蕉嗉壛_茨泵技術(shù)，盡管尺寸小，整體式干泵依然提供了高抽速和短抽空時間的特點(diǎn)。如今，整體式潔凈制程的干泵泵是先進(jìn)的，且A100系列在全世界范圍內(nèi)很多300mm半導(dǎo)體工廠內(nèi)進(jìn)行了安裝。

用于裝載互鎖和傳輸室的整體式干泵

在諸如裝載互鎖和傳輸室等潔凈制程應(yīng)用中，這些泵排除了泵安裝中的真空管路影響。通過使用整體式干泵，可降低真空管路安裝、集成和調(diào)試的成本。該泵在生產(chǎn)過程中提供可持續(xù)的杰出性能且具有高效節(jié)能的特點(diǎn)。高可靠性和長期穩(wěn)定性使該泵脫穎而出。

整體式干泵——不僅僅用于半導(dǎo)體行業(yè)

該泵能提供干燥和無塵的潔凈真空，整體式干泵也為太陽能光電設(shè)備提供上佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷卻系列的另一優(yōu)勢。小巧的體積保證了其在大型機(jī)臺內(nèi)集成的便利性。

產(chǎn)品名稱：干式真空泵

二、磁懸浮渦輪分子泵

電磁軸承也被稱作“主動式磁懸浮軸承”，其轉(zhuǎn)子位置會被不間斷的監(jiān)測和自動調(diào)整，并依靠自動平衡補(bǔ)償來實現(xiàn)無磨損、低震動的運(yùn)行。保證轉(zhuǎn)子能持續(xù)穩(wěn)定的工作。同時，這樣的軸承設(shè)計也實現(xiàn)了零維護(hù)和無潤滑油。

5軸磁懸浮渦輪分子泵

技術(shù)上的杰作

HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。利用這種軸承技術(shù)，轉(zhuǎn)子 的位置能被實時控制。在工作中，動平衡裝置會進(jìn)行自動校準(zhǔn)，可以極小程度上減輕震動和工藝過程中產(chǎn)生的軸承位移。低能耗和極低的維護(hù)成本確保了其極高的性價比。

超強(qiáng)的兼容性

是否覺得不同的界面接口標(biāo)準(zhǔn)讓您頭疼不已？我們的磁懸浮渦輪分 子泵能提供集成化的電子驅(qū)動裝置供您選擇，從而滿足各種不同界 面接口的連接需要。

可靠

我們ATH M和ATP M系列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉(zhuǎn)子 監(jiān)測系統(tǒng)和實時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能。通過采用這種高性能的 軸承技術(shù)，我們的泵不僅能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性，同時運(yùn) 行時也非常安靜。此系列軸承技術(shù)的泵在半導(dǎo)體、鍍膜和干蝕刻等 離子體過程行業(yè)的高真空工藝中具有標(biāo)桿地位，此外也廣泛應(yīng)用于 許多其他工業(yè)行業(yè)和研發(fā)領(lǐng)域。

產(chǎn)品名稱：半磁浮渦輪分子泵