淺析磁控濺射鍍膜儀應用廣泛

2020-07-21 16:31:44

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目前我國磁控濺射鍍膜儀市場銷售非?；馃?，這是一項熱門的新技術，它帶給企業和廠家的不僅僅是技術，還能夠節省大量的人工運作成本，因此深受廣大用戶的青睞。

磁控濺射鍍膜設備可制備多種薄膜，不同功能的薄膜，還可沉積組分混合的混合物、化合物薄膜；磁控濺射等離子體阻抗低，從而導致了高放電電流，在約５００Ｖ的電壓下放電電流可從１Ａ到１００Ａ（取決于陰極的長度）；成膜速率高，沉積速率變化范圍可從１ｎｍ／ｓ到１０ｎｍ／ｓ；成膜的一致性好，甚至是在數米長的陰極濺射的情況下，仍能保證膜層的一致性；基板溫升低；濺射出來的粒子能量約為幾十電子伏特，成膜較為致密，且膜基結合較好。

磁控濺射鍍膜設備得以廣泛的應用是因為該技術的特點所決定的，其特點可歸納為：可制備成靶材的各種材料均可作為薄膜材料，包括各種金屬、半導體、鐵磁材料，以及絕緣的氧化物、陶瓷、聚合物等物質。

另外磁控濺射調節參數則可調諧薄膜性能，尤其適合大面積鍍膜，沉積面積大膜層比較均勻。

近年來，磁控濺射鍍膜設備在我國愈發的流行，從側面反映出了我國工業發展十分迅速，今后設備取代人工的可能性是非常巨大的。

磁控濺射鍍膜系統