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磁控濺射真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

2020-11-09 14:59:52

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磁控濺射真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是一個(gè)相對(duì)成熟的設(shè)計(jì)部分，主要包括下面四個(gè)部分：

(1)室體結(jié)構(gòu)——由系統(tǒng)工作方式設(shè)定其設(shè)計(jì)形式。真空室可設(shè)計(jì)為單室，多室和生產(chǎn)線等形式，并可以選擇諸如連續(xù)、半連續(xù)等生產(chǎn)方式。對(duì)于生產(chǎn)平板基片的室體來(lái)說(shuō)，應(yīng)該進(jìn)行強(qiáng)度、剛度、穩(wěn)定性等優(yōu)化設(shè)計(jì)，同時(shí)考慮加工工藝的可行性和簡(jiǎn)易性。

(2)材料選擇——按照真空工藝要求，選擇滿足飽和蒸氣壓低，熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性好，易除氣，透氣率小等要求的材料21。例如，奧氏體不銹鋼，鋁合金，無(wú)氧銅等。對(duì)于大尺寸設(shè)備，為降低設(shè)備整體或移動(dòng)部件的重量，可以優(yōu)先選取鋁合金等輕質(zhì)金屬材料。

磁控濺射

(3)真空元件的設(shè)計(jì)——真空密封，電極引入，管路和閥門等。不同的工藝條件所選用的真空元件不同。

(4)真空泵和真空計(jì)的選擇——一般可按照常見的工程要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)需要定量的計(jì)算真空室內(nèi)的工藝氣體密度分布。不同種類的氣體和不同的真空室清潔程度的要求需要選用不同的真空泵和真空計(jì)。真空泵的返油會(huì)對(duì)基片造成污染，氧氣等反應(yīng)氣體會(huì)氧化泵油，因此，常選用干式無(wú)油真空泵作為真空抽氣系統(tǒng)。

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