當前標簽：磁控離子束復(fù)合
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設(shè)備用途：磁控與離子束復(fù)合系統(tǒng)用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、鐵磁膜和磁性薄膜等的制備。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及新材料領(lǐng)域。設(shè)備組成：系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺、
