當前標簽：單室離子束鍍膜
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設備用途：單室離子束鍍膜設備系統為高真空多功能離子束沉積系統，系統可用于開發納米級的單層及多層功能膜和復合膜-可鍍金屬、合金、化合物、半導體、介質復合膜等。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。設備組成：
