設(shè)備用途：

單室離子束鍍膜設(shè)備系統(tǒng)為高真空多功能離子束沉積系統(tǒng)， 系統(tǒng)可用于開(kāi)發(fā)納米級(jí)的單層及多層功能膜和復(fù)合膜-可鍍金屬、 合金、 化合物、 半導(dǎo)體、 介質(zhì)復(fù)合膜等。 廣泛應(yīng)用于大專院校、 科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。

設(shè)備組成：

系統(tǒng)主要由沉積室、 考夫曼濺射離子源、 考夫曼清洗輔助離子源、 樣品臺(tái)、 樣品加熱裝置、膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、 泵抽系統(tǒng)、 真空測(cè)量系統(tǒng)、 氣路系統(tǒng)、 電控系統(tǒng)等組成。

技術(shù)指標(biāo)：

1、極限真空度：≤8.0×10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；

2、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0×10-8Pa.L/S；停機(jī)12小時(shí)≤5Pa.

3、系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?，再開(kāi)始抽氣，45分鐘可達(dá)到6.6×10-4Pa；

4、系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、安裝機(jī)臺(tái)及電控系統(tǒng)等部分組成。