聯(lián)系人：曹經(jīng)理
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地址：沈陽(yáng)市渾南區(qū)祥瑞產(chǎn)業(yè)園
設(shè)備用途：
熱阻蒸發(fā)系統(tǒng)適用于制備金屬薄膜等，可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。
設(shè)備組成：
該設(shè)備主要由金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、蒸發(fā)源、樣品加熱控溫、電控系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)等部分組成。可配合手套箱組裝。
技術(shù)參數(shù)：
極限真空度≤6.6×10-5Pa；
抽速：40分鐘可達(dá)到6×10-4Pa；
熱阻蒸發(fā)組件:2套；
有機(jī)蒸發(fā)束源爐組件：1套；
樣品尺寸：φ100mm×1片；
樣品臺(tái)溫度：300℃；
分子泵系統(tǒng)：1套；
膜厚監(jiān)測(cè)儀（1個(gè)探頭）：1套；
冷卻水路系統(tǒng)：1套；
自動(dòng)控制系統(tǒng)：1套。
